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一种惯性驱动式扫描隧道显微镜 | |
要小未; 李民乾 | |
Date Available | 2013-01-23 |
Country | 中国 |
Subtype | 实用新型 |
Abstract | 本实用新型涉及一种扫描显微技术领域。包括 微机、控制装置,以及一个头部,头部有扫描装置和样 品台,样品台后侧有套钩,与驱动装置的滑块上的推 杆的弯钩相对应,滑块置放在和压电陶瓷管相粘接的 底板上,通过电压陶瓷管的变形带动滑块作惯性移 动,从而再推动样品台进、退,通过驱动装置的独立来 达到提高扫描稳定性和重复性的目的。这种设计结 构简单,稳定性和重复性好,不需作精密加工,有良 好的实用价值和经济效益,并适合于纳米科学技术的 研究和高精密度产品的加工。 |
Keyword | G02b21/32 |
Funding Project | 应物所课题组 |
Language | 中文 |
Status | 19960828 专利权的终止 未缴年费专利权终止 |
Application Number | CN92215769 |
Patent Agent | 刘珍 ; 沈能一 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10441 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 要小未,李民乾. 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜. |
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一种惯性驱动式扫描隧道显微镜.pdf(314KB) | 开放获取 | License | View Application Full Text |
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