CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
一种惯性驱动式扫描隧道显微镜
要小未; 李民乾
Date Available2013-01-23
Country中国
Subtype实用新型
Abstract本实用新型涉及一种扫描显微技术领域。包括 微机、控制装置,以及一个头部,头部有扫描装置和样 品台,样品台后侧有套钩,与驱动装置的滑块上的推 杆的弯钩相对应,滑块置放在和压电陶瓷管相粘接的 底板上,通过电压陶瓷管的变形带动滑块作惯性移 动,从而再推动样品台进、退,通过驱动装置的独立来 达到提高扫描稳定性和重复性的目的。这种设计结 构简单,稳定性和重复性好,不需作精密加工,有良 好的实用价值和经济效益,并适合于纳米科学技术的 研究和高精密度产品的加工。
KeywordG02b21/32
Funding Project应物所课题组
Language中文
Status19960828 专利权的终止 未缴年费专利权终止
Application NumberCN92215769
Patent Agent刘珍 ; 沈能一
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10441
Collection中科院上海原子核所2003年前
Recommended Citation
GB/T 7714
要小未,李民乾. 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
一种惯性驱动式扫描隧道显微镜.pdf(314KB) 开放获取LicenseView Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[要小未]'s Articles
[李民乾]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[要小未]'s Articles
[李民乾]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[要小未]'s Articles
[李民乾]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.