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| 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜 | |
| 要小未; 李民乾 | |
| Date Available | 2013-01-23 |
| Country | 中国 |
| Subtype | 实用新型 |
| Abstract | 本实用新型涉及一种扫描显微技术领域。包括 微机、控制装置，以及一个头部，头部有扫描装置和样 品台，样品台后侧有套钩，与驱动装置的滑块上的推 杆的弯钩相对应，滑块置放在和压电陶瓷管相粘接的 底板上，通过电压陶瓷管的变形带动滑块作惯性移 动，从而再推动样品台进、退，通过驱动装置的独立来 达到提高扫描稳定性和重复性的目的。这种设计结 构简单，稳定性和重复性好，不需作精密加工，有良 好的实用价值和经济效益，并适合于纳米科学技术的 研究和高精密度产品的加工。 |
| Keyword | G02b21/32 |
| Funding Project | 应物所课题组 |
| Language | 中文 |
| Status | 19960828 专利权的终止 未缴年费专利权终止 |
| Application Number | CN92215769 |
| Patent Agent | 刘珍 ; 沈能一 |
| Document Type | 专利 |
| Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10441 |
| Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 要小未,李民乾. 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜. |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 一种惯性驱动式扫描隧道显微镜.pdf（314KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
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