CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置
李晓军; 孙洁林; 胡钧; 李民乾; 何品刚; 方禹之; 吕军鸿
Date Available2013-01-23
Country中国
Subtype实用新型
Abstract一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度 的装置,包括原子力显微镜、函数发生器、示波器等,通过在 导电针尖上施加一定的偏压,从而在针尖与样品之间诱导形成 电场。这种长程的电场力叠加在范德华力上可以扩大针尖与样 品的距离,使针尖在垂直方向上的移动更容易控制,而且可以 在不同的高度上稳定成像。通过调节Asp(针尖上所加的力)参 数或插入扫描频道中的扫描高度参数来改变针尖高度的两种 途径,可得到被测样品的高度。本实用新型结构比较简单,使 用方便,使针尖在垂直方向上的移动更容易控制,在柔软的生 物样品的高度测量上更有优势,很大程度上消除了针尖对样品 的压力。
KeywordG01n13/16
Funding Project应物所课题组
Language中文
Status20080305 专利权的终止(未缴年费专利权终止)
Application NumberCN03228129
Patent Agent肖剑南
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10442
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
李晓军,孙洁林,胡钧,等. 一种基于原子力显微镜的测量衬底上样品高度的装置.
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