CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法
张志滨; 胡钧; 徐洪杰; 朱德彰; 李民乾
Date Available2013-01-23
Country中国
Subtype发明专利
Abstract一种利用荷能团簇在扫描探针显微镜悬臂及其 针尖上沉积薄膜的方法,包括下列步骤:溅射室的溅射靶架放 置溅射靶材;在沉积室的靶架上粘贴扫描探针显微镜(AFM)的 悬臂,并确保针尖向外;使靶架和待沉积薄膜的AFM悬臂处 于一铜屏蔽室中;用两套真空系统同时分别对溅射室和沉积室 抽真空;在溅射室中充入惰性气体Ar,使溅射室真空度达8-20Pa,沉积室真空度达3×10-4Pa;溅射靶上施加450-550V电压,使Ar产生辉光放电;在沉积室的靶架和AFM悬臂施加沉积偏压,而针尖处于一屏蔽室内;溅射时间1-10分钟后,在针尖上沉积一层导电薄膜。该金属薄膜具有致密性和附着力强的特点,利用荷能团簇沉积薄膜的针尖具有较长的使用寿命和较高的稳定性。
Subject AreaC23c14/34
Funding Project应物所课题组
Language中文
Status20120801 专利权的终止
Application NumberCN02111906
Patent Agent肖剑南
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10451
Collection中科院上海原子核所2003年前
Recommended Citation
GB/T 7714
张志滨,胡钧,徐洪杰,等. 在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法.
Files in This Item:
File Name/Size DocType Version Access License
在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的(359KB) 开放获取LicenseView Application Full Text
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[张志滨]'s Articles
[胡钧]'s Articles
[徐洪杰]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[张志滨]'s Articles
[胡钧]'s Articles
[徐洪杰]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[张志滨]'s Articles
[胡钧]'s Articles
[徐洪杰]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 在扫描探针显微镜悬臂及其针尖上沉积薄膜的方法.pdf
Format: Adobe PDF
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.