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长程面形仪 | |
肖体乔![]() | |
Date Available | 2013-01-23 |
Country | 中国 |
Subtype | 发明专利 |
Abstract | 一种长程面形仪,它主要由半导体激光器、光纤、 位相板、反射镜、分光镜、五角棱镜、反射镜、傅立叶透镜、 面阵CCD和参考反射镜组成,半导体激光器发出的激光束经 光纤准直投射至一块位相板上,其衍射光束由反射镜折转形成 基准光束被分光镜分为两路:一路经五角棱镜折转90°投射至 被测表面,被反射回来的探测光束再经五角棱镜、分光镜、反 射镜投射至傅立叶变换透镜,从而在位于FT透镜后焦面的面 阵CCD上形成测量光斑,另一路基准光束经由参考反射镜、 反射镜直接射至傅立叶透镜,并在面阵CCD上形成参考光斑。 |
Subject Area | G01b11/24 ; G02b26/10 |
Funding Project | 应物所课题组 |
Language | 中文 |
Status | 20050831 授权 |
Application Number | CN02110541 |
Patent Agent | 邓琪 |
Document Type | 专利 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10452 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 肖体乔,夏绍建,余笑寒. 长程面形仪. |
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