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9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线 | |
李月珍; 何焕南; 赵关弟; 严荣华; 吕庆仁; 祁明维; 章家鼎; 华芝芬 | |
1983-01-31 | |
Source Publication | 半导体学报
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Issue | 01 |
Abstract | 本文用氦载气熔化-气相色谱建立了红外吸收法测定硅单晶中间隙氧的标定曲线.由于熔化法中实验条件的控制和试样准备的改进;降低了空白;提高了数据的重现性;做出较可靠的标定曲线(其换算常数为6.2ppmA/cm~(-1)).优于文献中其它的标定曲线. |
Indexed By | CNKI |
Language | 中文 |
Funding Project | 原子核所项目组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10853 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 李月珍,何焕南,赵关弟,等. 9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线[J]. 半导体学报,1983(01). |
APA | 李月珍.,何焕南.,赵关弟.,严荣华.,吕庆仁.,...&华芝芬.(1983).9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线.半导体学报(01). |
MLA | 李月珍,et al."9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线".半导体学报 .01(1983). |
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9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定(1120KB) | 开放获取 | License | View Download |
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