9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线

CAS OpenIR > 中科院上海原子核所2003年前

	9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线
	李月珍; 何焕南; 赵关弟; 严荣华; 吕庆仁; 祁明维; 章家鼎; 华芝芬
	1983-01-31
Source Publication	半导体学报
Issue	01
Abstract	本文用氦载气熔化-气相色谱建立了红外吸收法测定硅单晶中间隙氧的标定曲线.由于熔化法中实验条件的控制和试样准备的改进;降低了空白;提高了数据的重现性;做出较可靠的标定曲线(其换算常数为6.2ppmA/cm~(-1)).优于文献中其它的标定曲线.
Indexed By	CNKI
Language	中文
Funding Project	原子核所项目组
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10853
Collection	中科院上海原子核所2003年前
Recommended Citation GB/T 7714	李月珍,何焕南,赵关弟,等. 9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线[J]. 半导体学报,1983(01).
APA	李月珍.,何焕南.,赵关弟.,严荣华.,吕庆仁.,...&华芝芬.(1983).9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线.半导体学报(01).
MLA	李月珍,et al."9微来红外吸收法测定硅单晶中氧含量的标定曲线".半导体学报 .01(1983).

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