CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
In~+离子注入蓝宝石(α-A1_2O_3单晶)的表面改性研究
谢东珠; 朱德彰; 曹建清; 曹德新; 潘浩昌; 徐洪杰
1998-09-10
Source Publication核技术
Issue09
Abstract研究了<0001<和<1210>晶向蓝宝石(α-Al2O3单晶)在注入360keV.1×10 ̄16cm ̄-2或100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+后产生的损伤、注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明;退火过程中损伤的恢复和In的分布与退火气氛有关:在100keV、6×10 ̄16cm ̄-2的In ̄+注入时;注入层电阻率降低了10个量级;大小为6.8×10 ̄3·cm;表面损伤层的显微硬度提高了92%;在360keV;1×10 ̄16cm ̄-2的In+注入时;其表面损伤层的显微硬度提高了45%;在空气中不同温度下退火后;其显微硬度的变化和损伤的变化具有相同的规律。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/10954
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
谢东珠,朱德彰,曹建清,等. In~+离子注入蓝宝石(α-A1_2O_3单晶)的表面改性研究[J]. 核技术,1998(09).
APA 谢东珠,朱德彰,曹建清,曹德新,潘浩昌,&徐洪杰.(1998).In~+离子注入蓝宝石(α-A1_2O_3单晶)的表面改性研究.核技术(09).
MLA 谢东珠,et al."In~+离子注入蓝宝石(α-A1_2O_3单晶)的表面改性研究".核技术 .09(1998).
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