CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
背散射分析测定锗(锂漂移)表面的氟化钙薄膜厚度
吴俊恒; 张达明; 王玟珉; 周慕尧; 张荣发
1983-06-30
Source Publication核技术
Issue06
Abstract<正> 在制造同轴锗(锂漂移)探测器时;为了减少表面漏电流、降低噪声;需要在锗表面生长一层有一定厚度的氟化钙复盖膜。因此;在选择加工工艺条件时;要求测量此层的厚度。 背散射分析一般不适合于测量重基体表面上的轻材料薄膜.我们用测量基体背散射能谱的位移量的方法;测出了锗(锂漂移)表面上氟化钙薄膜的厚度。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11098
Collection中科院上海原子核所2003年前
Recommended Citation
GB/T 7714
吴俊恒,张达明,王玟珉,等. 背散射分析测定锗(锂漂移)表面的氟化钙薄膜厚度[J]. 核技术,1983(06).
APA 吴俊恒,张达明,王玟珉,周慕尧,&张荣发.(1983).背散射分析测定锗(锂漂移)表面的氟化钙薄膜厚度.核技术(06).
MLA 吴俊恒,et al."背散射分析测定锗(锂漂移)表面的氟化钙薄膜厚度".核技术 .06(1983).
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
背散射分析测定锗(锂漂移)表面的氟化钙薄(72KB) 开放获取LicenseView Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[吴俊恒]'s Articles
[张达明]'s Articles
[王玟珉]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[吴俊恒]'s Articles
[张达明]'s Articles
[王玟珉]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[吴俊恒]'s Articles
[张达明]'s Articles
[王玟珉]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 背散射分析测定锗(锂漂移)表面的氟化钙薄膜厚度.caj
Format: Unknown
This file does not support browsing at this time
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.