CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
不同入射角Ar~+离子轰击Ag靶表面的形貌变化特征
朱京平; 张慧明; 王震遐
1998-04-25
Source Publication杭州大学学报(自然科学版)
Issue02
Abstract本文报道了一种用Ar+以不同入射角轰击Ag表面时形成锥体形貌的方法.不同溅射表面所形成锥体丛的平均高度分别为:(a)入射角φ为20°时约1μm;(b)φ=40°时约15μm;(c)φ=60°时约7μm;(d)φ=70°时约为8μm;并随入射角φ的增大而增加.我们认为这些变化特征是在离子轰击表面的溅射过程中形成的.
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11122
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
朱京平,张慧明,王震遐. 不同入射角Ar~+离子轰击Ag靶表面的形貌变化特征[J]. 杭州大学学报(自然科学版),1998(02).
APA 朱京平,张慧明,&王震遐.(1998).不同入射角Ar~+离子轰击Ag靶表面的形貌变化特征.杭州大学学报(自然科学版)(02).
MLA 朱京平,et al."不同入射角Ar~+离子轰击Ag靶表面的形貌变化特征".杭州大学学报(自然科学版) .02(1998).
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