CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
氘子活化分析同时测定硅中硼、碳和氮
何世玉; 王荫松; 金柏康; 华芝芬; 赵开华
1984-12-30
Source Publication核化学与放射化学
Issue04
Abstract本文叙述用本所1.2米回旋加速器产生的氘子;利用~(10)B(d;n)~(11)C;~(11)B(d;2n)~(11)C;~(12)C(d;n)~(13)N和~(14)N(d;n)~(15)O核反应;同时测定半导体硅中痕量的硼、碳和氮。样品辐照后;采用惰性气体熔融法作快速放化分离;~(11)C、~(13)N和~(15)O分别吸收在烧碱石棉、液氮冷却的5A分子筛和650℃的Hopcalite试剂上;用γ-γ符合测量装置测量各产核的湮灭γ计数;用相对定量法可同时得到硅中约几十ppb的硼、碳、氮含量。相对标准偏差分别为:C<±50%;B<±20%;N<±50%。 方法简单、快速且灵敏度高;是鉴定硅材料中轻元素含量的一个好方法。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11245
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
何世玉,王荫松,金柏康,等. 氘子活化分析同时测定硅中硼、碳和氮[J]. 核化学与放射化学,1984(04).
APA 何世玉,王荫松,金柏康,华芝芬,&赵开华.(1984).氘子活化分析同时测定硅中硼、碳和氮.核化学与放射化学(04).
MLA 何世玉,et al."氘子活化分析同时测定硅中硼、碳和氮".核化学与放射化学 .04(1984).
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