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| 高剂量铂和钇离子注入Al_2O_3单晶的表面改性 | |
| 谢东珠; 朱德彰; 潘浩昌; 曹德新; 徐洪杰 | |
| 1999-04-10 | |
| Source Publication | 核技术
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| Issue | 04 |
| Abstract | 研究了＜0001＞和＜1210＞晶向α－Al2O3单晶在高剂量的Y、Pt离子注入后产生的损伤;注入层的性能变化和退火行为。实验结果表明;在室温;171keV、1×1017／cm2Y离子注入的＜1210＞α－Al2O3单晶的表面层约有139nm厚被无定形化。而158keV、9×1017／cm2Pt离子注入的＜0001＞α-Al2O3单晶的表面层不产生无定形;且实际离子注入进衬底的剂量只有2．65×1016／cm2;绝大部分在注入过程中被溅射掉。注入后其表面层的硬度提高了大约50％。表面层的电阻率降低了12个数量级。在空气中退火后形成了随机取向的纳米量级大小的Pt微晶;表面层的硬度也有所降低;但仍稍高于未注入的单晶硬度。 |
| Indexed By | CNKI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 原子核所项目组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11428 |
| Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 谢东珠,朱德彰,潘浩昌,等. 高剂量铂和钇离子注入Al_2O_3单晶的表面改性[J]. 核技术,1999(04). |
| APA | 谢东珠,朱德彰,潘浩昌,曹德新,&徐洪杰.(1999).高剂量铂和钇离子注入Al_2O_3单晶的表面改性.核技术(04). |
| MLA | 谢东珠,et al."高剂量铂和钇离子注入Al_2O_3单晶的表面改性".核技术 .04(1999). |
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| 高剂量铂和钇离子注入Al_2O_3单晶的（200KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
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