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高能离子注入及其应用 | |
林森浩; 王玟珉 | |
1990-06-30 | |
Source Publication | 物理
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Issue | 06 |
Abstract | 本文介绍了高能离子(Mev/amu)与固体相互作用的特点;综述了近几年来高能离子注入技术在制备多层结构晶体管、减少载流子寿命、材料表面改性及增强薄膜与基体粘着力等方面的研究概况. |
Indexed By | CNKI |
Language | 中文 |
Funding Project | 原子核所项目组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11431 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 林森浩,王玟珉. 高能离子注入及其应用[J]. 物理,1990(06). |
APA | 林森浩,&王玟珉.(1990).高能离子注入及其应用.物理(06). |
MLA | 林森浩,et al."高能离子注入及其应用".物理 .06(1990). |
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