高能离子注入及其应用

CAS OpenIR > 中科院上海原子核所2003年前

	高能离子注入及其应用
	林森浩; 王玟珉
	1990-06-30
Source Publication	物理
Issue	06
Abstract	本文介绍了高能离子（Ｍｅｖ／ａｍｕ）与固体相互作用的特点;综述了近几年来高能离子注入技术在制备多层结构晶体管、减少载流子寿命、材料表面改性及增强薄膜与基体粘着力等方面的研究概况．
Indexed By	CNKI
Language	中文
Funding Project	原子核所项目组
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11431
Collection	中科院上海原子核所2003年前
Recommended Citation GB/T 7714	林森浩,王玟珉. 高能离子注入及其应用[J]. 物理,1990(06).
APA	林森浩,&王玟珉.(1990).高能离子注入及其应用.物理(06).
MLA	林森浩,et al."高能离子注入及其应用".物理 .06(1990).

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