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| 合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应 | |
| 王震遐; 潘冀生; 章骥平; 陶振兰 | |
| 1992-10-27 | |
| Source Publication | 物理学报
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| Issue | 10 |
| Abstract | 用27keV Ar~+离子对Ni-50wt％ Ti;Fe-30wt％ W和Ag-50wt％ Cu合金进行溅射;发现Ti;Fe和Ag原子在小角区择优发射。与此同时;扫描电子显微镜(SEM)结合电子探针微分析(EPMA)显示所有样品的靶点表面形貌均由凸起和凹陷两种微区组成的特征;并且各种微区具有不同的元素富集。用据此提出的模型对各合金组分的溅射原子角度择优发射特点进行分析;得到了与实验符合的结果。 |
| Indexed By | CNKI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 原子核所项目组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11509 |
| Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 王震遐,潘冀生,章骥平,等. 合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应[J]. 物理学报,1992(10). |
| APA | 王震遐,潘冀生,章骥平,&陶振兰.(1992).合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应.物理学报(10). |
| MLA | 王震遐,et al."合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应".物理学报 .10(1992). |
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| 合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效（626KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
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