CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应
王震遐; 潘冀生; 章骥平; 陶振兰
1992-10-27
Source Publication物理学报
Issue10
Abstract用27keV Ar~+离子对Ni-50wt% Ti;Fe-30wt% W和Ag-50wt% Cu合金进行溅射;发现Ti;Fe和Ag原子在小角区择优发射。与此同时;扫描电子显微镜(SEM)结合电子探针微分析(EPMA)显示所有样品的靶点表面形貌均由凸起和凹陷两种微区组成的特征;并且各种微区具有不同的元素富集。用据此提出的模型对各合金组分的溅射原子角度择优发射特点进行分析;得到了与实验符合的结果。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11509
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
王震遐,潘冀生,章骥平,等. 合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应[J]. 物理学报,1992(10).
APA 王震遐,潘冀生,章骥平,&陶振兰.(1992).合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应.物理学报(10).
MLA 王震遐,et al."合金在离子择优溅射中的表面元素局域富集效应".物理学报 .10(1992).
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