CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究
俞国庆; 石瑛; 欧阳振乾; 陈景升; 张志滨; 朱德彰; 潘浩昌; 徐洪杰
2001-02-10
Source Publication核技术
Issue02
Abstract研究了不同能量的团簇碰撞有机物(CH3SiO3/2)衬底形成的表面形貌。结果表明;团簇能量的增大;增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力;也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现;是迁移力增加的有力证据。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11516
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
俞国庆,石瑛,欧阳振乾,等. 荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究[J]. 核技术,2001(02).
APA 俞国庆.,石瑛.,欧阳振乾.,陈景升.,张志滨.,...&徐洪杰.(2001).荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究.核技术(02).
MLA 俞国庆,et al."荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究".核技术 .02(2001).
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