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| 荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究 | |
| 俞国庆; 石瑛; 欧阳振乾; 陈景升; 张志滨; 朱德彰; 潘浩昌; 徐洪杰 | |
| 2001-02-10 | |
| Source Publication | 核技术
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| Issue | 02 |
| Abstract | 研究了不同能量的团簇碰撞有机物（ＣＨ３ＳｉＯ３／２）衬底形成的表面形貌。结果表明;团簇能量的增大;增加了团簇原子在基片表面的有效碰撞能和迁移力;也改善了沉积薄膜的附着性、致密性、平整性等。特别是有机物上修饰条纹的出现;是迁移力增加的有力证据。 |
| Indexed By | CNKI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 原子核所项目组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11516 |
| Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 俞国庆,石瑛,欧阳振乾,等. 荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究[J]. 核技术,2001(02). |
| APA | 俞国庆.,石瑛.,欧阳振乾.,陈景升.,张志滨.,...&徐洪杰.(2001).荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究.核技术(02). |
| MLA | 俞国庆,et al."荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究".核技术 .02(2001). |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 荷能团簇束成膜的表面迁移和附着特性的研究（337KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
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