CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
溅射角分布形状与Spike效应的相关性
郑里平; 崔福斋; 王震遐; 陶振兰; 陶良; 钟毅
1987-12-31
Source Publication原子与分子物理学报
Issue04
Abstract<正>Sigmund 69年提出的线性碰撞级联理论;成功地解决了多晶体与无定形的单元素靶的溅射产额问题。根据反冲原子速度分布是各向同性的假定;他又推导出单元素靶溅射角分布是cosine形状;即溅射角分布可用A(cosβ)”函数描述;其中形状指数n=1。但是不少实验事实表明;对于中等以上质量的离子和靶原子来说;当离子能≥10~1Kev数量级级时;单元素靶溅射角分布是 over——cosine形状;即形状指数n>1。产生这种现象的机制至今仍不清楚。本文认为:在整个碰撞级联中;不全是线性碰撞;
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11646
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
郑里平,崔福斋,王震遐,等. 溅射角分布形状与Spike效应的相关性[J]. 原子与分子物理学报,1987(04).
APA 郑里平,崔福斋,王震遐,陶振兰,陶良,&钟毅.(1987).溅射角分布形状与Spike效应的相关性.原子与分子物理学报(04).
MLA 郑里平,et al."溅射角分布形状与Spike效应的相关性".原子与分子物理学报 .04(1987).
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