CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究
王震遐; 潘冀生; 陶振兰; 章骥平; 张慧明; 张伟坪; 卢兆伦
1991-03-02
Source Publication物理学报
Issue02
Abstract27keV的Ar~+离子垂直轰击处于不同温度的Cd靶;用捕获膜技术和Rutherford背散射谱仪(RBS)测定溅射原子角分布;并对所有样品的靶点形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现;所有的角分布都呈over-cosine形状;但是在极角为0°处实验值与cosine值的偏离;是不同的;在靶温度为150℃时的偏离T小于在室温时的偏离R;亦即T
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11650
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
王震遐,潘冀生,陶振兰,等. 溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究[J]. 物理学报,1991(02).
APA 王震遐.,潘冀生.,陶振兰.,章骥平.,张慧明.,...&卢兆伦.(1991).溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究.物理学报(02).
MLA 王震遐,et al."溅射原子角分布与靶点表面形貌的关联研究".物理学报 .02(1991).
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