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空气等效法α测厚仪 | |
朱节清; 乐安全 | |
1981-05-01 | |
Source Publication | 核技术
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Issue | 04 |
Abstract | α测厚仪用于任何材料的超薄膜厚度测量;范围0~4mg/cm~2;精密度好于1.5%。由于采用了空气等效法;使测量过程能在空气中进行。仪器简单、精密度高。本文推导了相对质量阻止本领作为E_α、Z和A的函数的半经验公式;它和齐格勒数据表的偏差小于8%。 |
Indexed By | CNKI |
Language | 中文 |
Funding Project | 原子核所项目组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11717 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 朱节清,乐安全. 空气等效法α测厚仪[J]. 核技术,1981(04). |
APA | 朱节清,&乐安全.(1981).空气等效法α测厚仪.核技术(04). |
MLA | 朱节清,et al."空气等效法α测厚仪".核技术 .04(1981). |
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空气等效法α测厚仪.caj(460KB) | 开放获取 | License | View Download |
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