CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响
潘冀生; 王震遐; 陶振兰; 章骥平; 张慧明; 赵烈
1991-12-27
Source Publication物理学报
Issue12
Abstract用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)谱仪测定Ag靶在27keV Ar~+离子轰击下的溅射原子角分布;从而确定不同剂量下Ag的溅射产额;并对其靶点表面形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现;所有的角分布都呈over-cosine形状;但其溅射产额却随着表面形貌不同而不同。根据溅射产额Y与轰击离子入射角φ变化关系;讨论不同轰击剂量下溅射产额的差别;肯定了表面形貌是影响溅射产额的一个重要因素;并由此提出“表观产额”的新概念。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11750
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
潘冀生,王震遐,陶振兰,等. 离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响[J]. 物理学报,1991(12).
APA 潘冀生,王震遐,陶振兰,章骥平,张慧明,&赵烈.(1991).离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响.物理学报(12).
MLA 潘冀生,et al."离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响".物理学报 .12(1991).
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