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| 离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响 | |
| 潘冀生; 王震遐; 陶振兰; 章骥平; 张慧明; 赵烈 | |
| 1991-12-27 | |
| Source Publication | 物理学报
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| Issue | 12 |
| Abstract | 用捕获膜技术和卢瑟福背散射(RBS)谱仪测定Ag靶在27keV Ar~+离子轰击下的溅射原子角分布;从而确定不同剂量下Ag的溅射产额;并对其靶点表面形貌进行扫描电子显微镜(SEM)观察。结果发现;所有的角分布都呈over-cosine形状;但其溅射产额却随着表面形貌不同而不同。根据溅射产额Y与轰击离子入射角φ变化关系;讨论不同轰击剂量下溅射产额的差别;肯定了表面形貌是影响溅射产额的一个重要因素;并由此提出“表观产额”的新概念。 |
| Indexed By | CNKI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 原子核所项目组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11750 |
| Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 潘冀生,王震遐,陶振兰,等. 离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响[J]. 物理学报,1991(12). |
| APA | 潘冀生,王震遐,陶振兰,章骥平,张慧明,&赵烈.(1991).离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响.物理学报(12). |
| MLA | 潘冀生,et al."离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的影响".物理学报 .12(1991). |
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| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 离子轰击引起的表面形貌对Ag的溅射产额的（823KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
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