CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
离子溅射及其应用
王震遐
1989-09-28
Source Publication核技术
IssueZ1
Abstract本文综述了离子溅射理论和实验研究的主要进展;着重分析了合金样品由于原子质量、表面结合能差别以及离子轰击导致的Gibbsian偏析等因素所引起的择优溅射。扼要地讨论了Tokamak第一壁材料的离子溅射、生物大分子的重离子解吸以及集团离子对固体表面的冲击.此外还指出;集团对固体表面的溅射过程在表面薄层中的能量转移特大并具有很高的溅射产额;这将在改变固体表面结构以及在超微量和微米束分析中得到新的实际应用。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11752
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
王震遐. 离子溅射及其应用[J]. 核技术,1989(Z1).
APA 王震遐.(1989).离子溅射及其应用.核技术(Z1).
MLA 王震遐."离子溅射及其应用".核技术 .Z1(1989).
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