CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
离子束感生电荷显微术的研究
王基庆; 李晓林; 郭盘林; 裘惠源; 朱节清
2000-04-13
Source Publication半导体技术
Issue02
Abstract使用低束流技术 ;在高分辨率扫描质子微探针装置上开展了离子束感生电荷显微术 ;并研究了半导体材料 Ga As的电子学性能。实验结果表明 ;在同一扫描区域内 ;材料的电荷收集效率具有不均匀特性 ;而且氦离子激发产生的 IBIC显微图谱的对比度比质子要强。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11755
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
王基庆,李晓林,郭盘林,等. 离子束感生电荷显微术的研究[J]. 半导体技术,2000(02).
APA 王基庆,李晓林,郭盘林,裘惠源,&朱节清.(2000).离子束感生电荷显微术的研究.半导体技术(02).
MLA 王基庆,et al."离子束感生电荷显微术的研究".半导体技术 .02(2000).
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