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碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响 | |
陈景升; 俞国庆; 潘浩昌; 朱德彰; 徐洪杰; 郑志豪; 阎逢元 | |
2000-09-10 | |
Source Publication | 核技术
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Issue | 09 |
Abstract | 在室温下;以硅(100)为衬底;在不同的衬底偏压(即团簇不同碰撞能量)的条件下;用荷能团簇碰撞沉积方法制备了TiN薄膜。用原子力显微镜和X射线衍射等技术对TiN薄膜的表面形貌和结构进行了研究;并且在维式硬度计和SRV微动摩擦磨损试验机上对其摩擦学性能进行了考察。结果表明;在低的偏压情况下;团簇比较松散地堆积在衬底上;而在高偏压时团簇和衬底碰撞破碎;形成附着力强、致密性好及表面非常光滑的薄膜;在一定的偏压范围内;TiN薄膜是(220)择优取向;TiN薄膜具有较高的硬度、较低的摩擦系数和较好的耐磨损性能。 |
Indexed By | CNKI |
Language | 中文 |
Funding Project | 原子核所项目组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11860 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 陈景升,俞国庆,潘浩昌,等. 碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响[J]. 核技术,2000(09). |
APA | 陈景升.,俞国庆.,潘浩昌.,朱德彰.,徐洪杰.,...&阎逢元.(2000).碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响.核技术(09). |
MLA | 陈景升,et al."碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结构、形貌及摩擦学特性的影响".核技术 .09(2000). |
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碰撞能量对荷能团簇碰撞沉积TiN薄膜的结(363KB) | 开放获取 | License | View Download |
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