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日本基于MEMS传感器的研究进展 | |
焦正; 吴明红 | |
2004-01-19 | |
Source Publication | 传感器世界
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Issue | 01 |
Abstract | 本文综述了近年来日本基于MEMS的传感器在企业和高校的研究进展;简述了各类MEMS传感器的结构特点与微机械加工技术;对我国MEMS传感器的研究与发展将有很大的借鉴作用。 |
Indexed By | CNKI |
Language | 中文 |
Funding Project | 原子核所项目组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/11913 |
Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 焦正,吴明红. 日本基于MEMS传感器的研究进展[J]. 传感器世界,2004(01). |
APA | 焦正,&吴明红.(2004).日本基于MEMS传感器的研究进展.传感器世界(01). |
MLA | 焦正,et al."日本基于MEMS传感器的研究进展".传感器世界 .01(2004). |
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日本基于MEMS传感器的研究进展.kdh(274KB) | 开放获取 | License | View Download |
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