Knowledge Management System Of Shanghai Institute of Applied Physics, CAS
| 物理溅射的Monte Carlo模拟 | |
| 崔福斋; 李文治; 李恒德; 郑里平 | |
| 1988 | |
| Source Publication | 计算物理
 |
| Issue | 02 |
| Abstract | 模拟载能离子在固体传输及原子碰撞级联过程的Monte Carlo程序TCIS;已用于考察物理溅射问题。溅射过程中;低能原子碰撞是很重要的。因此;本文详细研究了二体碰撞计算中时间积分τ的数值大小及其对溅射计算的影响。对TCIS模拟溅射物理模型、输入参数作了介绍;并给出某些模拟研究结果。模拟程序可提供溅射的原子水平的信息;这对于开展有关机理的研究是很有用的。 |
| Indexed By | CNKI |
| Language | 中文 |
| Funding Project | 原子核所项目组 |
| Document Type | 期刊论文 |
| Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12123 |
| Collection | 中科院上海原子核所2003年前 |
| Recommended Citation GB/T 7714 | 崔福斋,李文治,李恒德,等. 物理溅射的Monte Carlo模拟[J]. 计算物理,1988(02). |
| APA | 崔福斋,李文治,李恒德,&郑里平.(1988).物理溅射的Monte Carlo模拟.计算物理(02). |
| MLA | 崔福斋,et al."物理溅射的Monte Carlo模拟".计算物理 .02(1988). |
| Files in This Item: | Download All | |||||
| File Name/Size | DocType | Version | Access | License | ||
| 物理溅射的Monte Carlo模拟.c（228KB） | 开放获取 | License | View Download | |||
Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Edit Comment