CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
用31.2MeVα粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度
吴俊恒; 张达明; 王纹珉
1980
Source Publication核技术
Issue06
Abstract<正> 利用离子束进行散射分析;虽然早就有人做过;但是直到七十年代才有了真正的发展。1973年、1975年、1977年和1979年召开的四次专业性国际会议上;已经发表过大量文章。 离子束散射分析能够区分靶核的质量数;可用作定量分析。其最重要的特点是能够给出靶核浓度随着深度分布的信息;特别适用于分析轻基体材料中的重元素杂质。并且;还具有无损、直观、可靠等优点。它的可分析深度一般是从几十埃至几微米的物质近表面区域。所以;近几年来散射分析在表面分析研究中得到迅速的发展和广泛的应用。例如;在电子材料、材料科学、核能材料研究等方面;它都有很多应用。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12273
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
吴俊恒,张达明,王纹珉. 用31.2MeVα粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度[J]. 核技术,1980(06).
APA 吴俊恒,张达明,&王纹珉.(1980).用31.2MeVα粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度.核技术(06).
MLA 吴俊恒,et al."用31.2MeVα粒子的前向散射测量薄层及薄膜厚度".核技术 .06(1980).
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