CAS OpenIR  > 中科院上海原子核所2003年前
用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布
刘世杰; 吴越; 盛康龙; 李春瑛
1989
Source Publication高能物理与核物理
Issue06
Abstract利用2.0—2.5MeV He的弹性反冲探测方法;测量了二氧化硅和氮化硅膜层中的氢分布;并给出氢含量与淀积工艺条件的关系.讨论了在给定的实验条件下最大的探测深度、探测灵敏度极限和深度分辨率.
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project原子核所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12296
Collection中科院上海原子核所2003年前
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GB/T 7714
刘世杰,吴越,盛康龙,等. 用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布[J]. 高能物理与核物理,1989(06).
APA 刘世杰,吴越,盛康龙,&李春瑛.(1989).用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布.高能物理与核物理(06).
MLA 刘世杰,et al."用弹性反冲探测方法分析材料中的氢分布".高能物理与核物理 .06(1989).
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