基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正

CAS OpenIR > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年

	基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正
	龙飞; 王春梅; 孙洁林; 胡钧
	2011
Source Publication	核技术
ISSN	0253-3219
Issue	11 Pages:877-880
Abstract	在室温大气环境中,原子力显微镜(AFM)的热漂移会影响扫描过程中针尖定位的精度,导致扫描图像的失真,从而增大基于AFM图像的二维测量的误差。针对这种失真,在图像配准方法的基础上提出了热漂移补偿方法,通过建立热漂移的线性模型,校正扫描的AFM图像,从而恢复样品的真实形貌,有效提高了AFM图像二维平面内的测量准确性。
Keyword	原子力显微镜热漂移图像校正
Indexed By	CNKI
Language	中文
Funding Project	应物所项目组
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12576
Collection	中科院上海应用物理研究所2011-2020年
Recommended Citation GB/T 7714	龙飞,王春梅,孙洁林,等. 基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正[J]. 核技术,2011(11):877-880.
APA	龙飞,王春梅,孙洁林,&胡钧.(2011).基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正.核技术(11),877-880.
MLA	龙飞,et al."基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正".核技术 .11(2011):877-880.

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Format:	Unknown

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