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基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正 | |
龙飞; 王春梅; 孙洁林; 胡钧 | |
2011 | |
Source Publication | 核技术
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ISSN | 0253-3219 |
Issue | 11Pages:877-880 |
Abstract | 在室温大气环境中,原子力显微镜(AFM)的热漂移会影响扫描过程中针尖定位的精度,导致扫描图像的失真,从而增大基于AFM图像的二维测量的误差。针对这种失真,在图像配准方法的基础上提出了热漂移补偿方法,通过建立热漂移的线性模型,校正扫描的AFM图像,从而恢复样品的真实形貌,有效提高了AFM图像二维平面内的测量准确性。 |
Keyword | 原子力显微镜 热漂移 图像校正 |
Indexed By | CNKI |
Language | 中文 |
Funding Project | 应物所项目组 |
Document Type | 期刊论文 |
Identifier | http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12576 |
Collection | 中科院上海应用物理研究所2011-2020年 |
Recommended Citation GB/T 7714 | 龙飞,王春梅,孙洁林,等. 基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正[J]. 核技术,2011(11):877-880. |
APA | 龙飞,王春梅,孙洁林,&胡钧.(2011).基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正.核技术(11),877-880. |
MLA | 龙飞,et al."基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真校正".核技术 .11(2011):877-880. |
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基于图像配准的原子力显微镜图像热漂移失真(555KB) | 开放获取 | License | View Download |
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