CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
斜入射法检测平面反射镜的面形误差
马春桃; 罗红心; 王劼; 宋丽
2011
Source Publication激光与光电子学进展
ISSN1006-4125
Issue7Pages:88-93
Abstract为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,发展了斜入射检测方法,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式,并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124 mm×42 mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量,垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根(RMS)和峰谷(PV)值分别为16.3 nm和67.8 nm,斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度RMS和PV值分别为16.8 nm和68.7 nm,相对误差分别为3%和0.9%,可以满足第三代同步辐射光束线的要求。
Keyword测量 镜面面形 斜入射法 Zygo干涉仪 斜率误差
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12640
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
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GB/T 7714
马春桃,罗红心,王劼,等. 斜入射法检测平面反射镜的面形误差[J]. 激光与光电子学进展,2011(7):88-93.
APA 马春桃,罗红心,王劼,&宋丽.(2011).斜入射法检测平面反射镜的面形误差.激光与光电子学进展(7),88-93.
MLA 马春桃,et al."斜入射法检测平面反射镜的面形误差".激光与光电子学进展 .7(2011):88-93.
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