掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度

CAS OpenIR > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年

	掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度
	杜韦陶; 宋丽; 王玉柱; 罗红心; 张翼飞; 王劼
	2012
Source Publication	核技术
ISSN	0253-3219
Issue	4 Pages:255-259
Abstract	在Xiaomin Tong等的理论上发展了一个二维理论模型,建立散射光强分布与超光滑表面功率谱密度(PSD)的关系。在上海同步辐射光源小角散射实验站上,用不同粗糙度的210 mm和320 mm长的超光滑反射镜进行掠入射X射线散射法(GIXRS)实验,测量散射分布并进行处理,计算出两块反射镜的表面均方根粗糙度(RMS)。与白光干涉法测量结果的比对结果表明,根据这种理论进行数据处理得到的RMS值,与白光干涉法的测量结果非常符合。
Indexed By	CNKI
Language	中文
Funding Project	应物所项目组
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12773
Collection	中科院上海应用物理研究所2011-2020年
Recommended Citation GB/T 7714	杜韦陶,宋丽,王玉柱,等. 掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度[J]. 核技术,2012(4):255-259.
APA	杜韦陶,宋丽,王玉柱,罗红心,张翼飞,&王劼.(2012).掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度.核技术(4),255-259.
MLA	杜韦陶,et al."掠入射X射线散射法研究超光滑镜面粗糙度".核技术 .4(2012):255-259.

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Format:	Unknown

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