CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
同步辐射用光学元件面形绝对检测方法的研究
林维豪; 罗红心; 宋丽; 张翼飞; 王劼
2012
Source Publication光学学报
ISSN0253-2239
Issue9Pages:137-143
Abstract为实现同步辐射用光学元件面形的绝对检测,发展了镜面旋转对称三平板检测法。该方法将菲佐干涉法检测到的波前函数关于y轴分解成镜面对称部分与镜面非对称部分,再利用N次旋转取平均值消除镜面非对称部分,从而通过计算获得待测平面的绝对面形分布。推导了镜面旋转对称法检测矩形平面镜面形的公式,应用该方法设计了高精度矩形平面镜的测试实验,并进行了误差分析。实验结果表明,与传统三平板绝对测量方法相比较,两种方法在高度轮廓误差和斜率误差方面的计算结果都符合较好,其对比后的残差均方根(RMS)值分别为λ/500(λ=632.8nm)与0.93μrad。
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/12813
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
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GB/T 7714
林维豪,罗红心,宋丽,等. 同步辐射用光学元件面形绝对检测方法的研究[J]. 光学学报,2012(9):137-143.
APA 林维豪,罗红心,宋丽,张翼飞,&王劼.(2012).同步辐射用光学元件面形绝对检测方法的研究.光学学报(9),137-143.
MLA 林维豪,et al."同步辐射用光学元件面形绝对检测方法的研究".光学学报 .9(2012):137-143.
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