CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
弧矢聚焦双晶单色器晶面扭曲问题研究
Alternative TitleA study on crystal twist of a sagittaly focusing double-crystal monochromator
余盛辉
Subtype硕士
Thesis Advisor薛松
2013-04
Degree Grantor中国科学院研究生院
Degree Discipline光学工程
Keyword弧矢聚焦双晶单色器 晶面扭曲 有限元方法
Abstract本文从晶体衍射聚焦和晶体压弯的原理出发,研究了单色器的结构组成与光斑畸变状况,根据实际工程情况,分析了可能造成晶面扭曲的原因。然后利用有限元仿真方法,在ANSYS软件中建立有限元模型,定量模拟分析了晶体压弯过程中晶体切割边界、倾斜肋边、不均匀夹持等因素对晶面扭曲造成的影响,研究结果显示,不均匀夹持是造成晶面扭曲的主要原因,可以通过减小晶体与晶体座凹槽的尺寸间隙显著减轻扭曲状况;晶体切割边界对晶面扭曲有一定影响,可以通过优化切割晶向排除这一因素的干扰;加工精度范围内的倾斜肋边对晶面扭曲几乎没有影响,可以忽略。最后再进一步地从系统优化的角度上,对夹持方式和晶体尺寸的影响进行了研究,研究发现横向夹持对不均匀夹持更为敏感,不适合作为改进方案;晶体尺寸优化方面,晶体厚度的影响相对较大,可以通过适当减小厚度以抑制晶面扭曲。 本文的创新点在于利用各向异性有限元模型模拟硅晶体的压弯过程,定量分析了几种可能造成晶面扭曲的原因,研究了晶体尺寸参数对晶面扭曲的影响,为弧矢聚焦双晶单色器的优化设计提供参考。
Pages60
Language中文
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/13400
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
Recommended Citation
GB/T 7714
余盛辉. 弧矢聚焦双晶单色器晶面扭曲问题研究[D]. 中国科学院研究生院,2013.
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