CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
纳米CT样品漂移在线自动校正研究
程甲一; 张祥志; 邰仁忠
2013-08-10
Source Publication核技术
Issue8Pages:41707
Abstract为满足广大用户对样品数十纳米高空间分辨率三维精细结构测量的强烈需求,基于上海光源软X光谱学显微光束线站,研制了一套满足实验要求的常温纳米CT系统。系统中随着转台转动,样品出现严重漂移问题,极大地影响了CT实验的精度和效率。本文利用系统现有的可见光显微镜(VLM),记录样品转动过程中的漂移轨迹,计算出样品的漂移规律,用软件在线自动校正由角度转动而产生的样品漂移,实验结果表明样品漂移控制在1 m精度内,达到了实验要求5 m的精度范围,保证了纳米CT实验能够连续自动进行,大大提高了纳米CT的工作效率。
Keyword纳米ct 样品漂移 自动校正
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/13524
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
Recommended Citation
GB/T 7714
程甲一,张祥志,邰仁忠. 纳米CT样品漂移在线自动校正研究[J]. 核技术,2013(8):41707.
APA 程甲一,张祥志,&邰仁忠.(2013).纳米CT样品漂移在线自动校正研究.核技术(8),41707.
MLA 程甲一,et al."纳米CT样品漂移在线自动校正研究".核技术 .8(2013):41707.
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