CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
上海光源光束线石墨薄片材料的真空性能实验研究
陈明; 刘俊男; 薛松
2013-07-15
Source Publication真空科学与技术学报
Issue7Pages:661-664
Abstract石墨薄片材料的出气率及放出气体成分是上海光源光束线真空系统优化的重要依据。因此,采用小孔流导法实验装置测试经不同清洗处理的石墨薄片的出气率,并且通过四极质谱计监测测试过程中放出气体的成分。结果表明,不同清洗处理对石墨薄片的出气率的影响不大,而烘烤是降低石墨薄片出气率的有效方法。石墨薄片出气率在未经烘烤时为10-8Pa.L.s-1.cm-2量级,在140℃经48 h烘烤后为10-10Pa.L.s-1.cm-2量级。石墨薄片的残余气体谱图分析表明,与延长排气时间相比,烘烤是抽除石墨薄片吸附的清洗剂的有效措施。
Keyword石墨薄片 真空性能 出气率 质谱分析
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/13545
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
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GB/T 7714
陈明,刘俊男,薛松. 上海光源光束线石墨薄片材料的真空性能实验研究[J]. 真空科学与技术学报,2013(7):661-664.
APA 陈明,刘俊男,&薛松.(2013).上海光源光束线石墨薄片材料的真空性能实验研究.真空科学与技术学报(7),661-664.
MLA 陈明,et al."上海光源光束线石墨薄片材料的真空性能实验研究".真空科学与技术学报 .7(2013):661-664.
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