CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究
郭春磊; 孟祥雨; 吴衍青; 王勇; 邰仁忠
2013-09-10
Source Publication核技术
Issue9Pages:41708
Abstract同步辐射波荡器光源相干性能逐步提高,使得同步辐射相干光学实验对理论模拟的要求越来越高。对同步辐射光束线空间相干性进行有效的评估,可以指导相干光束线的设计及其相干光学实验的开展。本文利用部分相干光传播计算模型,数值模拟了上海光源软X射线干涉光刻光束线部分相干光的传播,理论和实验结果进行了比较,得到不同参数下的空间相干性,分析了误差产生原因。相干性的定量分析结果可以为实现空间相干性的定量控制提供依据。
KeywordX射线光学 空间相干性 波荡器 相干长度
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/13546
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
Recommended Citation
GB/T 7714
郭春磊,孟祥雨,吴衍青,等. 上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究[J]. 核技术,2013(9):41708.
APA 郭春磊,孟祥雨,吴衍青,王勇,&邰仁忠.(2013).上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究.核技术(9),41708.
MLA 郭春磊,et al."上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究".核技术 .9(2013):41708.
Files in This Item: Download All
File Name/Size DocType Version Access License
上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及(678KB) 开放获取CC BY-NC-SAView Download
Related Services
Recommend this item
Bookmark
Usage statistics
Export to Endnote
Google Scholar
Similar articles in Google Scholar
[郭春磊]'s Articles
[孟祥雨]'s Articles
[吴衍青]'s Articles
Baidu academic
Similar articles in Baidu academic
[郭春磊]'s Articles
[孟祥雨]'s Articles
[吴衍青]'s Articles
Bing Scholar
Similar articles in Bing Scholar
[郭春磊]'s Articles
[孟祥雨]'s Articles
[吴衍青]'s Articles
Terms of Use
No data!
Social Bookmark/Share
File name: 上海光源软X射线干涉光刻线站波荡器光源及束线相干性研究.caj
Format: Unknown
This file does not support browsing at this time
All comments (0)
No comment.
 

Items in the repository are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.