CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年
大尺寸反射镜高精度检测方法研究
林维豪
Subtype博士
Thesis Advisor王劼
2014
Degree Grantor中国科学院研究生院(上海应用物理研究所)
Degree Discipline核技术及应用
Keyword同步辐射 斜入射测量 绝对检测 镜面旋转对称 斜率误差
Abstract鉴于同步辐射掠入射光学元件的独有特点,即一般为横向较窄而轴向甚长的长条状,目前大尺寸光学元件面形检测的诸多方法,由于各自存在的局限,都难以直接加以运用。本文通过具体深入地研究斜入射法与干涉绝对检测技术,旨在实现同步辐射大尺寸平面反射镜面形的二维高精度检测。
Language中文
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/14786
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2020年
Recommended Citation
GB/T 7714
林维豪. 大尺寸反射镜高精度检测方法研究[D]. 中国科学院研究生院(上海应用物理研究所),2014.
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