沉积装置及制备圆柱形和圆筒形各向同性热解炭的方法
张东生; 夏汇浩; 周兴泰; 杨新梅; 宋金亮
2014-08-18
专利权人中国科学院上海应用物理研究所
授权国家中华人民共和国
专利类型发明
摘要本发明涉及一种沉积装置,沉积装置包括上导流锥、下导流锥、沉积基体和沉积室,上导流锥和下导流锥在沉积室的内部通过其各自的底面相对而置,底面上分别具有从其延伸出的圆柱形的上凸台和下凸台;上凸台和下凸台分别伸入沉积基体的内部配合固定,沉积基体与上导流锥和下导流锥的底面接触的端面为非镜面,沉积基体的内壁与上凸台和下凸台的外壁之间分别保留0.5-1.5mm的间隙。本发明还提供一种利用该沉积装置制备圆柱形和圆筒形各向同性热解炭的方法。本发明的沉积装置借助于沉积基体的外壁形成圆筒形各向同性热解炭的同时,借助于上、下凸台形成圆柱形各向同性热解炭,一次装炉得到两种不同尺寸和形状的各向同性热解炭材料。
分类号C23C16/26;C23C16/455;C23C16/44
专利号CN104178744
语种中文
申请号CN201410407180
文献类型专利
条目标识符http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/25411
专题中科院上海应用物理研究所2011-2018年
作者单位中国科学院上海应用物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
张东生,夏汇浩,周兴泰,等. 沉积装置及制备圆柱形和圆筒形各向同性热解炭的方法. CN104178744[P]. 2014-08-18.
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