Nano-accuracy measurement technology of optical-surface profiles
Qian, SN; Gao, B; Qian, SN (reprint author), Brookhaven Natl Lab, Upton, NY 11973 USA.
2016
会议名称8th International Symposium on Advanced Optical Manufacturing and Testing Technologies (AOMATT) - Subnanometer Accuracy Measurement for Synchrotron Optics and X-Ray Optics
会议日期APR 26-29, 2016
会议地点Suzhou, PEOPLES R CHINA
会议主办者Chinese Opt Soc, Chinese Acad Sci, Inst Opt & Elect, SPIE
ISSN0277-786X
ISBN978-1-62841-922-1
文章类型会议论文
关键词Surface Profiler Profilometer Nano-accuracy Preccise Measurement
DOI10.1117/12.2247578
收录类别SCI
语种英语
引用统计
文献类型会议论文
条目标识符http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/26393
专题中科院上海应用物理研究所2011-2018年
通讯作者Qian, SN (reprint author), Brookhaven Natl Lab, Upton, NY 11973 USA.
推荐引用方式
GB/T 7714
Qian, SN,Gao, B,Qian, SN . Nano-accuracy measurement technology of optical-surface profiles[C],2016.
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