软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
陈家华; 龚学鹏; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依
2017
发表期刊光学精密工程
卷号25期号:7页码:2810-2816
文章类型期刊论文
摘要研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。
关键词同步辐射 光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜 结构设计
收录类别其他
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28347
专题中科院上海应用物理研究所2011-2018年
作者单位1.中国科学院上海应用物理研究所
2.中国科学院大学
3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
推荐引用方式
GB/T 7714
陈家华,龚学鹏,薛松,等. 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统[J]. 光学精密工程,2017,25(7):2810-2816.
APA 陈家华.,龚学鹏.,薛松.,卢启鹏.,彭忠琦.,...&王依.(2017).软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统.光学精密工程,25(7),2810-2816.
MLA 陈家华,et al."软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统".光学精密工程 25.7(2017):2810-2816.
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