软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统

CAS OpenIR > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年

	软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统
	陈家华 ; 龚学鹏 ; 薛松 ; 卢启鹏 ; 彭忠琦 ; 宋源 ; 王依
	2017
Source Publication	光学精密工程
Volume	25 Issue:7 Pages:2810-2816
Subtype	期刊论文
Abstract	研制了光发射电子显微镜(PEEM)高精度微聚焦系统,以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况,给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkpatrick-Baez(KB镜)两镜方案,设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案,即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节,分析了姿态调节机构的原理与工作过程,给出了微聚焦系统的整体设计方案。测试了KB镜系统的机械性能,给出水平调节机构以及第一面镜子Pitch运动的测试结果,结果显示:水平调节机构分辨率为0.6μm,重复精度为0.85μm,Pitch角度分辨率为0.4″,重复精度为0.5″,优于指标要求。其它参数的测试结果亦均优于指标要求。实验表明,微聚焦系统机械指标的实现保证了PEEM线光斑的高质量聚焦。
Keyword	同步辐射光发射电子显微镜(Peem) X射线显微镜 Kb镜结构设计
Indexed By	其他
Language	中文
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28347
Collection	中科院上海应用物理研究所2011-2020年
Affiliation	1.中国科学院上海应用物理研究所 2.中国科学院大学 3.中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
Recommended Citation GB/T 7714	陈家华,龚学鹏,薛松,等. 软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统[J]. 光学精密工程,2017,25(7):2810-2816.
APA	陈家华.,龚学鹏.,薛松.,卢启鹏.,彭忠琦.,...&王依.(2017).软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统.光学精密工程,25(7),2810-2816.
MLA	陈家华,et al."软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB镜系统".光学精密工程 25.7(2017):2810-2816.

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软X射线光发射电子显微镜光束线聚焦用KB（576KB）	期刊论文	作者接受稿	开放获取	CC BY-NC-SA	View Download

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