CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2018年
应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计
黄化岩; 陈明; 刘俊男; 刘腾飞; 薛松
2017
Source Publication真空
Issue2Pages:"14-18"
Subtype期刊论文
Abstract涡旋干泵是世界范围内同步辐射光源应用较多的真空获得设备,为满足同步辐射光源真空系统清洁、稳定和排气量大的需求,对涡旋干泵极限压力、抽气速率和清洁度三个性能有很高的要求。设计了一套涡旋干泵性能测试的综合平台并通过实际干泵测试来检验平台的设计。测试结果表明,综合性能平台能有效得测试上述涡旋干泵性能指标,为应用于同步辐射光源的涡旋干泵选泵工作提供测试手段和平台。
Keyword同步辐射光源 涡旋干泵 性能测试
Indexed By其他
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28406
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2018年
Affiliation中国科学院上海应用物理研究所
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GB/T 7714
黄化岩,陈明,刘俊男,等. 应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计[J]. 真空,2017(2):"14-18".
APA 黄化岩,陈明,刘俊男,刘腾飞,&薛松.(2017).应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计.真空(2),"14-18".
MLA 黄化岩,et al."应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计".真空 .2(2017):"14-18".
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