应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计
黄化岩; 陈明; 刘俊男; 刘腾飞; 薛松
2017
发表期刊真空
期号2页码:"14-18"
文章类型期刊论文
摘要涡旋干泵是世界范围内同步辐射光源应用较多的真空获得设备,为满足同步辐射光源真空系统清洁、稳定和排气量大的需求,对涡旋干泵极限压力、抽气速率和清洁度三个性能有很高的要求。设计了一套涡旋干泵性能测试的综合平台并通过实际干泵测试来检验平台的设计。测试结果表明,综合性能平台能有效得测试上述涡旋干泵性能指标,为应用于同步辐射光源的涡旋干泵选泵工作提供测试手段和平台。
关键词同步辐射光源 涡旋干泵 性能测试
收录类别其他
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28406
专题中科院上海应用物理研究所2011-2018年
作者单位中国科学院上海应用物理研究所
推荐引用方式
GB/T 7714
黄化岩,陈明,刘俊男,等. 应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计[J]. 真空,2017(2):"14-18".
APA 黄化岩,陈明,刘俊男,刘腾飞,&薛松.(2017).应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计.真空(2),"14-18".
MLA 黄化岩,et al."应用于同步辐射光源的涡旋干泵综合性能测试平台设计".真空 .2(2017):"14-18".
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