硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
潘要霖; 毛成文; 舒德明; 李爱国
2017
发表期刊核技术
期号9页码:"15-22"
文章类型期刊论文
摘要空间分辨率和聚焦效率是X射线微纳探针最关键的技术指标。压弯非球面镜具备聚焦效率高、空间分辨好、加工难度低、色散消除等优点。基于上海光源硬X射线微聚焦及应用线站的现有条件,在精确压弯理论的基础上设计了高精度柔性铰链压弯机构并进行了有限元分析,并且进一步对压弯镜体宽度进行了优化。通过长程面形仪(Long Trace Profiler,LTP)对压弯机构的测试,得到压弯非球面镜的斜率误差为430 nrad,理论上可实现230 nm的硬X射线聚焦光斑。
关键词X射线微纳探针 压弯非球面镜 柔性铰链 有限元分析
收录类别其他
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28407
专题中科院上海应用物理研究所2011-2018年
作者单位1.中国科学院上海应用物理研究所嘉定园区
2.中国科学院大学
3.Advanced Photon Source,Argonne National Laboratory
推荐引用方式
GB/T 7714
潘要霖,毛成文,舒德明,等. 硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析[J]. 核技术,2017(9):"15-22".
APA 潘要霖,毛成文,舒德明,&李爱国.(2017).硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析.核技术(9),"15-22".
MLA 潘要霖,et al."硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析".核技术 .9(2017):"15-22".
条目包含的文件
文件名称/大小 文献类型 版本类型 开放类型 使用许可
硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构(673KB)期刊论文作者接受稿开放获取CC BY-NC-SA请求全文
个性服务
推荐该条目
保存到收藏夹
查看访问统计
导出为Endnote文件
谷歌学术
谷歌学术中相似的文章
[潘要霖]的文章
[毛成文]的文章
[舒德明]的文章
百度学术
百度学术中相似的文章
[潘要霖]的文章
[毛成文]的文章
[舒德明]的文章
必应学术
必应学术中相似的文章
[潘要霖]的文章
[毛成文]的文章
[舒德明]的文章
相关权益政策
暂无数据
收藏/分享
所有评论 (0)
暂无评论
 

除非特别说明,本系统中所有内容都受版权保护,并保留所有权利。