CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2019年
硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析
潘要霖; 毛成文; 舒德明; 李爱国
2017
Source Publication核技术
Issue9Pages:"15-22"
Subtype期刊论文
Abstract空间分辨率和聚焦效率是X射线微纳探针最关键的技术指标。压弯非球面镜具备聚焦效率高、空间分辨好、加工难度低、色散消除等优点。基于上海光源硬X射线微聚焦及应用线站的现有条件,在精确压弯理论的基础上设计了高精度柔性铰链压弯机构并进行了有限元分析,并且进一步对压弯镜体宽度进行了优化。通过长程面形仪(Long Trace Profiler,LTP)对压弯机构的测试,得到压弯非球面镜的斜率误差为430 nrad,理论上可实现230 nm的硬X射线聚焦光斑。
KeywordX射线微纳探针 压弯非球面镜 柔性铰链 有限元分析
Indexed By其他
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28407
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2019年
Affiliation1.中国科学院上海应用物理研究所嘉定园区
2.中国科学院大学
3.Advanced Photon Source,Argonne National Laboratory
Recommended Citation
GB/T 7714
潘要霖,毛成文,舒德明,等. 硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析[J]. 核技术,2017(9):"15-22".
APA 潘要霖,毛成文,舒德明,&李爱国.(2017).硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析.核技术(9),"15-22".
MLA 潘要霖,et al."硬X射线亚微米聚焦高稳定柔性铰链压弯机构的模拟分析".核技术 .9(2017):"15-22".
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