长程面形仪测量数据的拟合方法
童新宇; 彭川黔; 何玉梅; 王劼
2016
发表期刊核技术
期号8页码:"12-18"
文章类型期刊论文
摘要为了寻找一种适用于长程面形仪(Long Trace Profiler,LTP)测量数据的曲线拟合算法,提高同步辐射用光学反射镜表面几何参数拟合的准确性,并合理可靠地评价同步辐射用光学反射镜表面质量,本文对镜面曲率半径、测量环境噪声和镜面测量姿态这三个可能影响镜面几何参数拟合精度的因素进行了数值模拟,采用基于代数距离的最小二乘法、基于几何距离的最小二乘法和遗传算法对模拟面形进行了拟合对比。结果表明,基于几何距离的最小二乘法对以上三个因素均不敏感,最适合长程面形仪测量数据的拟合。该方法能够给上海同步辐射光源反射镜的面形检测提供一定的参考价值。
关键词长程面形仪 曲线拟合算法 同步辐射 表面质量
收录类别其他
语种中文
文献类型期刊论文
条目标识符http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/28412
专题中科院上海应用物理研究所2011-2018年
作者单位1.中国科学院上海应用物理研究所
2.中国科学院大学
3.重庆理工大学
推荐引用方式
GB/T 7714
童新宇,彭川黔,何玉梅,等. 长程面形仪测量数据的拟合方法[J]. 核技术,2016(8):"12-18".
APA 童新宇,彭川黔,何玉梅,&王劼.(2016).长程面形仪测量数据的拟合方法.核技术(8),"12-18".
MLA 童新宇,et al."长程面形仪测量数据的拟合方法".核技术 .8(2016):"12-18".
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