CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年
一种熔盐热扩散处理设备及其应用
苏兴治; 侯娟; 俞国军; 陈燕军; 谢雷东; 侯惠奇; 王建强
2020-03-27
Rights Holder中国科学院上海应用物理研究所
Date Available2017-08-08
Country中国
Subtype发明专利
Abstract

本发明公开了一种熔盐热扩散处理设备及其应用。其包括一供气系统、一真空系统、一炉体、一循环水盘管、一样品室、一坩埚和一支撑杆;供气系统通过进气管与炉体连通,真空系统通过第一出气管与炉体连通;循环水盘管套设于炉体的上部;坩埚设于炉体底部,坩埚包括坩埚本体和坩埚盖板,坩埚本体的上端外侧设有第一环形凹槽,坩埚盖板开口向下包住坩埚口,并伸入第一环形凹槽中;支撑杆依次贯穿炉体上的炉门、坩埚盖板,并伸入坩埚中;支撑杆伸入坩埚的一端连有样品室。本发明设备处理效率高,系统密闭,能控制系统的水氧含量,防止熔盐蒸汽或其分解产物扩散到坩埚外能减少熔盐烟雾影响,避免对设备造成腐蚀或积累在加热炉的电阻丝上造成设备短路。

Application Date2016-02-02
Patent NumberCN107022733A
Language中文
Application NumberCN201610074177.5
IPC Classification NumberC23c8/54(2006.01)i ; C23c8/44(2006.01)i ; C23c8/48(2006.01)i ; C23c8/42(2006.01)i
Patent Agent薛琦 ; 余化鹏
Agency上海弼兴律师事务所 31283
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33558
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2020年
Recommended Citation
GB/T 7714
苏兴治,侯娟,俞国军,等. 一种熔盐热扩散处理设备及其应用. CN107022733A[P]. 2020-03-27.
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