CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年
一种气体净化装置
李俊琴; 邹鹰; 刘腾飞; 陈振华; 王勇; 邰仁忠
2016-12-21
Rights Holder中国科学院上海应用物理研究所
Date Available2016-12-21
Country中国
Subtype实用新型
Abstract

本实用新型涉及一种气体净化装置,包括依次设置的惰性气体钢瓶、冷阱和真空腔体,其中,惰性气体钢瓶中储存有惰性气体,真空腔体内设置有设备,冷阱由容置于液氮瓶中的铜盘管形成,液氮瓶中承载有液氮,惰性气体钢瓶与铜盘管通过第一充气气路连通,铜盘管与真空腔体通过第二充气气路连通。本实用新型通过冷阱的设置,可以去除惰性气体中的杂质,例如油脂类分子等,从而达到保护真空腔体内的设备的目的。而且,本实用新型的气体净化装置结构简单、操作简便,而且成本低廉。

Application Date2016-05-26
Patent NumberCN205815167U
Language中文
Application NumberCN201620497103.8
IPC Classification NumberB01d8/00(2006.01)i
Patent Agent邓琪 ; 宋丽荣
Agency上海智信专利代理有限公司 31002
Document Type专利
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/33637
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2020年
Recommended Citation
GB/T 7714
李俊琴,邹鹰,刘腾飞,等. 一种气体净化装置. CN205815167U[P]. 2016-12-21.
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