CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年
离子束诱导电荷显微术的现状与发展趋势
陆荣荣,裘惠源,朱德彰
2002-08-10
Source Publication核技术
Issue08
Abstract离子束诱导电荷显微术 (IBIC)是核子微探针显微成像技术的又一新发展 ,它具有低束流(fA量级 )、高效率的特点 ,已被广泛应用于半导体材料和微电子材料研究中。本文简述了离子束诱导电荷显微术 (IBIC)的原理和实验方法 ,综述了IBIC研究的现状和进展。
Indexed ByCNKI
Language中文
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/7587
Collection中科院上海应用物理研究所2004-2010年
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GB/T 7714
陆荣荣,裘惠源,朱德彰. 离子束诱导电荷显微术的现状与发展趋势[J]. 核技术,2002(08).
APA 陆荣荣,裘惠源,朱德彰.(2002).离子束诱导电荷显微术的现状与发展趋势.核技术(08).
MLA 陆荣荣,裘惠源,朱德彰."离子束诱导电荷显微术的现状与发展趋势".核技术 .08(2002).
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