10~(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵

CAS OpenIR > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年

	10~(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵
	蒋迪奎,陈丽萍,殷立新
	2004
Source Publication	真空科学与技术学报
Issue	03
Abstract	不改变商用SIP的基本结构 ,把NEG组件WP1 2 5 0装入SIP ,构成 (SIP +NEG)的XHV复合泵。它使SIP和NEG的特点互补 ,综合性能优越。NEG激活前 ,SIP单独抽气 ,极限压强 1 1× 1 0 -8Pa。NEG激活后 ,SIP和NEG联合抽气 ,复合泵的极限压强降到 7× 1 0 -1 0 Pa ,抽速稳定的范围更广 ,标称抽速约是SIP抽速的 2 5倍
Language	中文
Funding Project	应物所项目组
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8125
Collection	中科院上海应用物理研究所2004-2010年
Recommended Citation GB/T 7714	蒋迪奎,陈丽萍,殷立新. 10~(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵[J]. 真空科学与技术学报,2004(03).
APA	蒋迪奎,陈丽萍,殷立新.(2004).10~(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵.真空科学与技术学报(03).
MLA	蒋迪奎,陈丽萍,殷立新."10~(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵".真空科学与技术学报 .03(2004).

Related Services

Bookmark

Google Scholar

Similar articles in Bing Scholar

Terms of Use

No data!

Social Bookmark/Share

File name:	10~(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵.pdf
Format:	Adobe PDF

All comments (0)

No comment.

The comment function is only available to registered usersLog In

If you have any objections to this item, please fill out the form below and the administrator will contact you as soon as possible.
Content:
Email：	*
Institution:
Verification Code:	Refresh

Any comments and suggestions are welcomed.
Title:	*
Content:
Email：	*
Verification Code:	Refresh

中国科学院上海应用物理研究所机构知识库