CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年
光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统
佟亚军; 何晓业; 赵屹东; 郑雷; 肖体乔; 王秋平
2009
Source Publication核技术
Issue5
Abstract在同步辐射光束线建设中,为达到单色器的光谱分辨率要求,对波长扫描机构的定位精度要求在μm量级。我们建立的由激光干涉仪、自准直仪组成的直线位移测试系统,可以对直线位移机构进行测试并对机构的直线位移编码器进行标定。该系统不但实现了直线位移的精密测量,还能对机构的直线性进行测量。应用该系统测出位移范围为160mm的直线位移机构的重复精度为1.0×10-3mm,分辨率达7.5×10-5mm,对光栅尺的标定精度达到RMS=3.0×10-4mm。
Keyword直线位移 测量和标定 光栅单色器
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8370
Collection中科院上海应用物理研究所2004-2010年
Corresponding Author佟亚军
Recommended Citation
GB/T 7714
佟亚军,何晓业,赵屹东,等. 光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统[J]. 核技术,2009(5).
APA 佟亚军,何晓业,赵屹东,郑雷,肖体乔,&王秋平.(2009).光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统.核技术(5).
MLA 佟亚军,et al."光栅单色器中精密直线位移的测试与标定系统".核技术 .5(2009).
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