低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究

CAS OpenIR > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年

	低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究
	王森; 俞国军; 巩金龙; 李勤涛; 朱德彰; 朱志远
	2006
Source Publication	物理学报
Issue	3
Abstract	用低能氩离子束(Ar+)处理了多孔铝阳极氧化膜(AAO)表面.扫描电子显微镜和原子力显微镜结果表明,Ar+束刻蚀不仅可以有效地去除AAO反面阻挡层,还可使AAO表面产生多种特殊的形貌,如采用倾角入射可使其表面产生波纹,倾角入射同时旋转样品台,可实现表面抛光.并结合Bradley和Harper提出的无定形材料表面波纹的形成和演化理论解释了AAO表面波纹的特征.
Keyword	多孔铝阳极氧化膜离子束刻蚀
Indexed By	CNKI
Language	中文
Funding Project	应物所项目组
Document Type	期刊论文
Identifier	http://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8519
Collection	中科院上海应用物理研究所2004-2010年
Corresponding Author	王森
Recommended Citation GB/T 7714	王森,俞国军,巩金龙,等. 低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究[J]. 物理学报,2006(3).
APA	王森,俞国军,巩金龙,李勤涛,朱德彰,&朱志远.(2006).低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究.物理学报(3).
MLA	王森,et al."低能氩离子束对多孔铝阳极氧化膜表面的刻蚀效应研究".物理学报 .3(2006).

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