CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年
用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法
唐雨钊; 周虹杉; 张峰; 吴志华; 张晓东; 孙洁林; 胡钧
2006
Source Publication电子显微学报
Issue6
Abstract软刻蚀技术运用聚二甲基硅氧烷(Poly dimethylsiloxane,PDMS)等聚合物材料制备弹性图章,并用制备好的图章转印图形结构至特定基底。在很多情况下需对模板和弹性图章、图章与转印图形同一位置的形貌进行表征。基于原子力显微镜观测的反向重定位技术提供了一种微观区域内对二维平面互为镜像关系的两种样品的原位对比观测方法。本文利用坐标实时显示的程控高精度样品台系统,联合使用非对称表面标记及坐标镜像复制的定位法,实现了对样品的精确反向重定位成像。
Keyword原子力显微镜 反向重定位 软刻蚀 表面标记坐标系 高精度样品台系统
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/8621
Collection中科院上海应用物理研究所2004-2010年
Corresponding Author唐雨钊
Recommended Citation
GB/T 7714
唐雨钊,周虹杉,张峰,等. 用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法[J]. 电子显微学报,2006(6).
APA 唐雨钊.,周虹杉.,张峰.,吴志华.,张晓东.,...&胡钧.(2006).用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法.电子显微学报(6).
MLA 唐雨钊,et al."用于软刻蚀复型及转印前后形貌比较的反向重定位AFM成像方法".电子显微学报 .6(2006).
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