CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年
大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测
朱伟忠; 吴衍青; 郭智; 朱效立; 马杰; 谢常青; 史沛熊; 周洪军; 霍同林; 邰仁忠; 徐洪杰
2008-10-15
Source Publication物理学报
Issue10
Abstract基于严格的矢量耦合波理论,优化设计了用于13.4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版.采用电子束光刻技术,在国内首次成功制作了周期为100 nm的大面积金属型透射光栅.光栅面积为1.5 mm×1.5 mm,Cr浮雕厚度为50 nm,Gap/period为0.6,衬底Si3N4厚度为100 nm.此光栅将用于上海光源软X射线干涉光刻实验站.利用其1级衍射光和2级衍射光将可以经济高效地制作周期为50和25 nm的大面积周期结构.最后,测量了该光栅对波长为13.4 nm同步辐射光的衍射光强度,并且推算得出该光栅的1级和2级衍射效率分别为4.41%和0.49%,与理论设计值比较符合.实验结果与理论模拟结果的对比表明该光栅侧壁陡直,Gap/period的控制也与设计值符合.
Keyword软x射线金属型透射光栅 严格耦合波方法 衍射效率 软x射线干涉光刻
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9153
Collection中科院上海应用物理研究所2004-2010年
Corresponding Author朱伟忠
Recommended Citation
GB/T 7714
朱伟忠,吴衍青,郭智,等. 大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测[J]. 物理学报,2008(10).
APA 朱伟忠.,吴衍青.,郭智.,朱效立.,马杰.,...&徐洪杰.(2008).大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测.物理学报(10).
MLA 朱伟忠,et al."大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测".物理学报 .10(2008).
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