CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2004-2010年
振动对长程面形仪静态稳定性的影响
孙晖; 罗红心; 肖体乔; 徐洪杰
2008-09-10
Source Publication核技术
Issue09
Abstract研究了振动对新型长程面型仪(Long Trace Profiler,LTP)静态稳定性的影响。根据新型长程面形仪的光学结构建立模型,分析了LTP对环境振动的响应,证明了仅垂直方向振动会导致LTP测量误差。接着采用频率和强度可控的振动发生源,通过对比实验测量振动对LTP静态稳定性的实际影响,实验结果与理论分析相符,证明了仅垂直方向一定频率范围内的振动会影响LTP的静态稳定性。
Keyword长程面形仪 振动 静态稳定性
Indexed ByCNKI
Language中文
Funding Project应物所项目组
Document Type期刊论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9217
Collection中科院上海应用物理研究所2004-2010年
Corresponding Author孙晖
Recommended Citation
GB/T 7714
孙晖,罗红心,肖体乔,等. 振动对长程面形仪静态稳定性的影响[J]. 核技术,2008(09).
APA 孙晖,罗红心,肖体乔,&徐洪杰.(2008).振动对长程面形仪静态稳定性的影响.核技术(09).
MLA 孙晖,et al."振动对长程面形仪静态稳定性的影响".核技术 .09(2008).
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