CAS OpenIR  > 中科院上海应用物理研究所2011-2020年
斜入射法检测平面反射镜面形的研究
马春桃
Subtype硕士
Thesis Advisor王劼
2011-05
Degree Grantor中国科学院研究生院
Degree Discipline光学工程
ClassificationTH741.8
Keyword测量 镜面面形 斜入射法 斜率误差
Abstract为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,本文对斜入射检测方法进行了研究,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪检测的镜面口径范围。推导了斜入射法检测平面反射镜面形的公式,并考虑了此方法可能引入的误差。对尺寸为124mm×42mm的平面反射镜分别在垂直和不同斜入射角条件下进行了测量,垂直入射时测得镜子工作表面面形起伏高度均方根(RMS)和峰谷值(peak-to-valley)分别为和16.3nm和67.8nm,斜入射时测得镜子工作表面的面形起伏高度均方根和峰谷值分别为16.8nm和68.7nm,相对误差分别为3%和0.9%,可以满足第三代同步辐射光束线的要求。实验结果表明,该方法稳定可靠,操作方便,可以用来检测大口径光学镜面。
Funding Project应物所项目组
Language中文
Document Type学位论文
Identifierhttp://ir.sinap.ac.cn/handle/331007/9655
Collection中科院上海应用物理研究所2011-2020年
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GB/T 7714
马春桃. 斜入射法检测平面反射镜面形的研究[D]. 中国科学院研究生院,2011.
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