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大面积10000线/毫米软X射线金属型透射光栅的设计、制作与检测 期刊论文
物理学报, 2008, 期号: 10
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  郭智;  朱效立;  马杰;  谢常青;  史沛熊;  周洪军;  霍同林;  邰仁忠;  徐洪杰
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软x射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  衍射效率  软x射线干涉光刻  
13.4nm软X射线干涉光刻透射光栅的优化设计 期刊论文
光学学报, 2008, 期号: 07
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  陈敏;  王纳秀;  邰仁忠;  徐洪杰
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干涉光刻  软x射线透射光栅  严格耦合波方法  复折射率  衍射效率  
基于高级硅刻蚀和硅氧化工艺的软X射线干涉光刻分束光栅的优化设计 期刊论文
核技术, 2008, 期号: 06
Authors:  朱伟忠;  吴衍青;  史沛熊;  郭智;  邰仁忠;  徐洪杰
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软x射线透射光栅  衍射效率  高级硅刻蚀  硅氧化工艺  严格耦合波方法  软x射线干涉光刻  
The design, fabrication and performance of a large area 10000 line/mm metal transmission diffraction gratings for soft X-ray 期刊论文
ACTA PHYSICA SINICA, 2008, 卷号: 57, 期号: 10, 页码: 6386
Authors:  Zhu, WZ(朱伟忠);  Wu, YQ(吴衍青);  Guo, Z(郭智);  Zhu, XL;  Ma, J;  Xie, CQ;  Shi, PX;  Zhou, HJ;  Huo, TL;  Tai, RZ(邰仁忠);  Xu, HJ(徐洪杰);  Tai, RZ (reprint author), Chinese Acad Sci, Shanghai Inst Appl Phys, Shanghai 201800, Peoples R China
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软X射线干涉光刻相关技术研究 学位论文
, 上海应用物理研究所: 中国科学院上海应用物理研究所, 2005
Authors:  朱伟忠
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软x射线金属型透射光栅  严格耦合波方法  电子束光刻  衍射效率  软x射线干涉光刻